探針卡用清潔片

探針卡廣泛運用於半導体的晶圓検査工程，探針卡在一定期間使用後、必須清潔探針部分、才能維持良好機能。
近年由於半導体的性能提升，探針卡也朝向多Pin化、狭距化發展、為了延長昂貴探針卡的使用壽命、良好的清潔工程日益 重要。
敝社提供探針卡清潔最適用的清潔片、具有多數半導体関連廠商的使用実績。

探針卡用清潔片

特徵

可進行探針尖端摩耗少的清潔工程
對應Canti-Lever、Vertical、MEMS Type 及其他各種探針卡的清潔
有適用高温使用的対応產品
Wafer、研磨板的貼付可對應

 

清潔片構造

MIPOX的清潔片、係在各種基材上塗佈研磨材料，詳細請向敝司詢問。 
 

Line-Up

TYPE	粒度	顏色	特徴	適用探針	形状Image
PET TYPE	WA4000 WA6000 WA8000 GC6000	Yellow White Light-Pink Gray	・針先端研磨用 ・高清潔性 ・Flat形状研磨対應 ・適用於強固付着物的除去	・Canti-Lever
PF3 TYPE	GC4000 GC6000 GC8000 SI10000	Gray Gray Brown Orange	・低損傷高効率清潔片 ・Flat及Round形状研磨対應 ・耐熱130℃対應	・Canti-Lever ・MEMS型
SWE TYPE	WA4000 WA6000 WA8000 WA10000 SI10000	Yellow Green Pink Orange Orange	・針先端低損傷研磨用 ・Round及Crown形状研磨対應	・Canti-Lever ・Vertical ・Crown Type
BC3 TYPE	GC4000 GC6000 GC8000 GC10000	Gray Gray Gray Gray	・針先端低損傷研磨用 ・Flat形状研磨対應 （合金系Canti-Lever等）	・合金系Canti-Lever

尺寸

片狀（mm）	Disc狀（mm）φ
136×149 150×150 152×152 222×149 228×280	50 152 194 203 194-FO 290

＊其他尺寸請另外詢問。