晶圓內部缺陷光學觀察裝置 XS-1

Mipox與Vision Psytec公司、日本国立研究開発法人産業技術総合研究所共同開発的SiC結晶転位欠陥観察装置「XS-1」公開發表

XS-1的特徴

SiC Wafer等内部存在的結晶欠陥或内部歪斜,可以高感度且即時可視化的装置。

應用Vision Psytec公司独自的光学理論及位相差演算処理、可捕捉微小位相差、觀察各種結晶欠陥。

以往無法以可視光的光学顕微鏡観察的缺陷、使用XS-1、得到與X線Topography相當的結晶転位検出能力。