Tape edge polisher for wafer edge trimming

2013-05-01 21:05:05 發表,點閱 8192 次

市場日漸成長的Power Device及手機端末應用產品多使用高性能薄化Chip,Wafer薄化製程不可缺少,特別是100u以下薄化製程必須先做Edge Trimming,本公司獨特的Tape Edge Polisher擁有Edge Trimming優勢,可減少Edge Chipping造成的Wafer破裂及裂痕,提高薄化製程之良率